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Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Name: Rapid Thermal Processing of Semiconductors
Brand: Springer-Verlag New York Inc.
SKU: 02254748
Price: 223.59 EUR
Availability: InStock
Author: Victor E. Borisenko
ISBN: 9781489918062

Victor E. Borisenko

Peter J. Hesketh

Sprache

Englisch

Buch Broschur

Libristo-Code: 02254748

Verlag Springer-Verlag New York Inc., Juni 2013

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 02254748

547 b

223.59 € inkl. MwSt.

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Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Autor Victor E. Borisenko, Peter J. Hesketh

Sprache

Englisch

Einband Buch - Broschur

Datum der Veröffentlichung 2013

Anzahl der Seiten 358

EAN 9781489918062

ISBN 148991806X

Libristo-Code 02254748

Verlag Springer-Verlag New York Inc.

Gewicht 587

Abmessungen 155 x 235 x 21

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Materialwissenschaft / Aggregatzustände > Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)

Mathematik und Naturwissenschaften > Chemie > Analytische Chemie > Spektroskopie, Spektrochemie, Massenspektrometrie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien

Mathematik und Naturwissenschaften > Naturwissenschaften, allgemein > Wissenschaftliche Ausstattung, Experimente und Techniken

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

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