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Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Name: Rapid Thermal Processing of Semiconductors
Brand: Springer Science+Business Media
SKU: 01378486
Price: 223.59 EUR
Availability: InStock
Author: Victor E. Borisenko
ISBN: 9780306450549

Victor E. Borisenko

Peter J. Hesketh

Sprache

Englisch

Buch Hardcover

Libristo-Code: 01378486

Verlag Springer Science+Business Media, Mai 1997

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 01378486

547 b

223.59 € inkl. MwSt.

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Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Autor Victor E. Borisenko, Peter J. Hesketh

Sprache

Englisch

Einband Buch - Hardcover

Datum der Veröffentlichung 1997

Anzahl der Seiten 358

EAN 9780306450549

ISBN 0306450542

Libristo-Code 01378486

Verlag Springer Science+Business Media

Gewicht 2090

Abmessungen 178 x 254 x 25

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Chemie > Analytische Chemie > Spektroskopie, Spektrochemie, Massenspektrometrie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien

Mathematik und Naturwissenschaften > Naturwissenschaften, allgemein > Wissenschaftliche Ausstattung, Experimente und Techniken

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

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