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X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing

Sprache EnglischEnglisch
Buch Hardcover
Buch X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing Brian K. Tanner
Libristo-Code: 06734771
Verlag Taylor & Francis Inc, Januar 2006
Emphasizes on practical metrology, with real world examples from the semiconductor and magnetics ind... Vollständige Beschreibung
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Emphasizes on practical metrology, with real world examples from the semiconductor and magnetics industries. This book discusses the techniques, theory, and applications of X-ray metrology in semiconductors and other advanced thin films. It covers the essential metrological questions of precision and repeatability, absolute accuracy and spot size.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing
Autor Brian K. Tanner
Sprache Englisch
Einband Buch - Hardcover
Datum der Veröffentlichung 2006
Anzahl der Seiten 296
EAN 9780849339288
ISBN 9780849339288
Libristo-Code 06734771
Verlag Taylor & Francis Inc
Gewicht 586
Abmessungen 162 x 245 x 21

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Mess- und Automatisierungstechnik
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik
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