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Specialty Gas Analysis - A Practical Guidebook

Sprache EnglischEnglisch
Buch Hardcover
Buch Specialty Gas Analysis - A Practical Guidebook Jeremiah D. Hogan
Libristo-Code: 04888313
Verlag John Wiley & Sons Inc, Mai 1997
The semiconductor industry is moving toward gas-phase reagents, increasing the relative importance o... Vollständige Beschreibung
? points 534 b
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The semiconductor industry is moving toward gas-phase reagents, increasing the relative importance of gas purity. Anyone who deals in the manufacturing of these devices needs to understand the technology available for modern gas analysis. Most specialty gas vendors have some re in place for quality assurance, but these usually are very simplistic and outdated methods. No book was available that gave guidance on providing accurate, reproducible data on specialty gas products. This is the first book that provides an introduction to current analytical methods and equipment for the analysis of high- purity gases used in the semiconductor industry and related fields.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Specialty Gas Analysis - A Practical Guidebook
Autor Jeremiah D. Hogan
Sprache Englisch
Einband Buch - Hardcover
Datum der Veröffentlichung 1997
Anzahl der Seiten 200
EAN 9780471185987
ISBN 0471185981
Libristo-Code 04888313
Verlag John Wiley & Sons Inc
Gewicht 468
Abmessungen 159 x 241 x 19

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Materialwissenschaft / Aggregatzustände > Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Energietechnik, Elektrotechnik und Energiemaschinenbau > Technologien für fossile Brennstoffe, allgemein > Erdgastechnik
Mathematik und Naturwissenschaften > Chemie > Analytische Chemie
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Industrielle Chemie und Fertigungstechnologien
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