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Rapid Thermal and Integrated Processing V: Volume 429

Name: Rapid Thermal and Integrated Processing V: Volume 429
Brand: Materials Research Society
SKU: 02060086
Price: 27.69 EUR
Availability: PreOrder
Author: A. T. FioryJ. C. GelpeyF. RoozeboomR. P. S. Thakur
ISBN: 9781558993327

A. T. FioryJ. C. GelpeyF. RoozeboomR. P. S. Thakur

Sprache

Englisch

Buch Hardcover

Libristo-Code: 02060086

Verlag Materials Research Society, Oktober 1996

This book is the latest in a continuing series on rapid thermal processing and related topics. It em... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 02060086

68 b

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This book is the latest in a continuing series on rapid thermal processing and related topics. It embraces a diversity of research, development and manufacturing activities that require rapid thermal and integrated processing techniques which are recognized by their acronyms, such as rapid thermal annealing (RTA), rapid thermal processing (RTP), rapid thermal chemical vapor deposition (RTCVP), rapid thermal oxidation (RTO), and others. This fifth anniversary volume reports notable advances in the use of rapid thermal techniques in processing science and technology, and for process control in industrial fabrication facilities. It is organized around progress obtained through: evaluation methodology; equipment and process modelling; temperature control; defects and diffusion associated with annealing; metallizations such as silicidation; novel processing of sol-gel and magnetic films; dielectric growth and deposition; and silicon or silicon-germanium film deposition.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Rapid Thermal and Integrated Processing V: Volume 429

Autor A. T. FioryJ. C. GelpeyF. RoozeboomR. P. S. Thakur

Sprache

Englisch

Einband Buch - Hardcover

Datum der Veröffentlichung 1996

Anzahl der Seiten 389

EAN 9781558993327

ISBN 1558993320

Libristo-Code 02060086

Verlag Materials Research Society

Gewicht 659

Abmessungen 157 x 234 x 23

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

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