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Predictive Simulation of Semiconductor Processing

Status and Challenges

Sprache EnglischEnglisch
Buch Hardcover
Buch Predictive Simulation of Semiconductor Processing Jarek Dabrowski
Libristo-Code: 01558777
Verlag Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, Mai 2004
Predictive Simulation of Semiconductor Processing enables researchers and developers to extend the s... Vollständige Beschreibung
? points 577 b
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Predictive Simulation of Semiconductor Processing enables researchers and developers to extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Predictive Simulation of Semiconductor Processing
Autor Jarek Dabrowski, Eicke R. Weber
Sprache Englisch
Einband Buch - Hardcover
Datum der Veröffentlichung 2004
Anzahl der Seiten 490
EAN 9783540204817
ISBN 3540204814
Libristo-Code 01558777
Verlag Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Gewicht 1028
Abmessungen 155 x 235 x 36

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft > Werkstoffprüfung
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien
Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Mathematische Physik
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein
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