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Nanofabrication

Name: Nanofabrication
Brand: Springer Verlag GmbH
SKU: 01705636
Price: 136.09 EUR
Availability: InStock
Author: Maria Stepanova
ISBN: 9783709104231

Techniques and Principles

Maria Stepanova

Steven Dew

Sprache

Englisch

Buch Hardcover

Libristo-Code: 01705636

Verlag Springer Verlag GmbH, November 2011

Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key tech... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 01705636

333 b

136.09 € inkl. MwSt.

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Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with nanometer control, and etching patterns and structures at the nanoscale. A distinguishing feature of this book is a focus not on extension of microelectronics fabrication, but rather on techniques applicable for building NEMS, biosensors, nanomaterials, photonic crystals, and other novel devices and structures that will revolutionize society in the coming years.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Nanofabrication

Autor Maria Stepanova, Steven Dew

Sprache

Englisch

Einband Buch - Hardcover

Datum der Veröffentlichung 2011

Anzahl der Seiten 344

EAN 9783709104231

ISBN 3709104238

Libristo-Code 01705636

Verlag Springer Verlag GmbH

Gewicht 672

Abmessungen 161 x 243 x 25

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Andere Technologien und verwandte Wissenschaften > Angewandte Optik > Lasertechnik und Holographie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Nanotechnologie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Industrielle Chemie und Fertigungstechnologien > Andere Fertigungsverfahren

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

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