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Ion Implantation Technology

17th International Conference on Ion Implantation Technology

Sprache EnglischEnglisch
Buch Hardcover
Buch Ion Implantation Technology Edmund G. Seebauer
Libristo-Code: 01391164
Verlag Springer, Berlin, Januar 2011
The conference is focused on recent advances and emerging technologies in semiconductor processing b... Vollständige Beschreibung
? points 657 b
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The conference is focused on recent advances and emerging technologies in semiconductor processing before, during and after ion implantation. The content encompasses fundamental physical understanding, common and novel applications as well as equipment issues, maintenance and design. The primary audience is process engineers in the microelectronics industry. Additional contributions come from academia and other industry segments (automotive, aerospace, and medical device manufacturing).

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Ion Implantation Technology
Autor Edmund G. Seebauer, Susan B. Felch, Amitabh Jain, Yevgeniy V. Kondratenko
Sprache Englisch
Einband Buch - Hardcover
Datum der Veröffentlichung 2011
Anzahl der Seiten 576
EAN 9780735405974
ISBN 0735405972
Libristo-Code 01391164
Verlag Springer, Berlin
Gewicht 1538
Abmessungen 216 x 279 x 36

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Andere Technologien und verwandte Wissenschaften > Angewandte Optik
Mathematik und Naturwissenschaften > Physik
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