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Glow Discharge Processes - Sputtering and Plasma Etching

Sprache EnglischEnglisch
Buch Hardcover
Buch Glow Discharge Processes - Sputtering and Plasma Etching Brian Chapman
Libristo-Code: 04887388
Verlag John Wiley & Sons Inc
Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge,... Vollständige Beschreibung
? points 698 b
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Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Glow Discharge Processes - Sputtering and Plasma Etching
Autor Brian Chapman
Sprache Englisch
Einband Buch - Hardcover
Anzahl der Seiten 432
EAN 9780471078289
ISBN 047107828X
Libristo-Code 04887388
Verlag John Wiley & Sons Inc
Gewicht 706
Abmessungen 168 x 244 x 28

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Elektrizität, Magnetismus und Elektromagnetismus
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Energietechnik, Elektrotechnik und Energiemaschinenbau > Elektrotechnik
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