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Extreme Ultraviolet Lithography

Name: Extreme Ultraviolet Lithography
Brand: LAP Lambert Academic Publishing
SKU: 12628271
Price: 33.59 EUR
Availability: InStock
Author: Hiroo Kinoshita
ISBN: 9783659827402

Principles and Basic Technologies

Hiroo Kinoshita

Sprache

Englisch

Buch Broschur

Libristo-Code: 12628271

Verlag LAP Lambert Academic Publishing, November 2015

This book describes the principles and basic technologies of extreme ultraviolet lithography (EUVL).... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 12628271

82 b

33.59 € inkl. MwSt.

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This book describes the principles and basic technologies of extreme ultraviolet lithography (EUVL). The topics include why research on EUVL was begun and why an exposure wavelength of 13.5 nm was selected; the design of the optical system, which employs reflective mirrors; the use of a multilayer film to make a reflective-type mask and how masks are inspected; an historical overview of the development of light sources; resist materials; and the recent performance of lithographic tools for mass production. Three innovations were key to the development: of Mo/Si multilayer films with a high reflectivity and to the shaping and metrology of aspherical mirrors with a precision of less than 0.1 nm. The technology for measuring figure error and the fabrication technology now meet the performance targets. Thus, EUVL has become the most promising lithographic technology for device fabrication at the 7-nm node.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Extreme Ultraviolet Lithography

Autor Hiroo Kinoshita

Sprache

Englisch

Einband Buch - Broschur

Datum der Veröffentlichung 2016

Anzahl der Seiten 164

EAN 9783659827402

Libristo-Code 12628271

Verlag LAP Lambert Academic Publishing

Gewicht 234

Abmessungen 150 x 220 x 8

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Naturwissenschaften, allgemein

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