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Characterization in Silicon Processing

Name: Characterization in Silicon Processing
Brand: Momentum Press
SKU: 01220120
Price: 125.49 EUR
Availability: PreOrder
Author: Strausser
ISBN: 9781606501092

Strausser

Sprache

Englisch

Buch Hardcover

Libristo-Code: 01220120

Verlag Momentum Press, Februar 2010

With a focus on the use of materials characterization techniques for silicon-based semiconductors, t... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 01220120

307 b

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With a focus on the use of materials characterization techniques for silicon-based semiconductors, this volume in the Materials Characterization series focuses on the process flow of silicon wafer manufacture where materials properties, processing and associated problems are brought to the fore. The book is organized by the types of materials commonly associated with integrated silicon semiconductor circuits and the typical processes involved for each such material, including deposition, thermal treatment, and lithography. Readers will find features such as:§The essential processes of Silicon Epitaxial §Growth Coverage of Polysilicon Conductors, Silicides, Aluminum and Copper-based Conductors, Tungsten-based Conductors §Concise summaries of major characterization technologies for silicon and related semiconductor materials, including Auger Electron Spectroscopy, Energy-Dispersive X-Ray Spectroscopy, Neutron Activation Analysis and Raman Spectroscopy

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Characterization in Silicon Processing

Autor Strausser

Sprache

Englisch

Einband Buch - Hardcover

Datum der Veröffentlichung 2010

Anzahl der Seiten 240

EAN 9781606501092

ISBN 1606501097

Libristo-Code 01220120

Verlag Momentum Press

Gewicht 531

Abmessungen 157 x 242 x 17

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Industrielle Chemie und Fertigungstechnologien > Industrielle Chemie und Chemietechnologie

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