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Boron nitride thin films

Sprache EnglischEnglisch
Buch Broschur
Buch Boron nitride thin films Jean Lorenzzi
Libristo-Code: 06816880
Verlag VDM Verlag, Juli 2010
In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. ma... Vollständige Beschreibung
? points 127 b
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In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot-pressed B4C and h-BN targets on two different substrates: Si3N4 ceramics with different surface finishing and Si(100) wafers. The influence of parameters such as substrate temperature and working gas composition ratio (N2 or Ar), on film thickness, deposition rate, cristallinity, residual stress, phase composition and hardness, were systematically investigated using techniques like SEM, XRD, FT-IR and nanohardness.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Boron nitride thin films
Autor Jean Lorenzzi
Sprache Englisch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2010
Anzahl der Seiten 96
EAN 9783639076356
ISBN 3639076354
Libristo-Code 06816880
Verlag VDM Verlag
Gewicht 150
Abmessungen 152 x 229 x 6

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein
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