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Advances in CMP Polishing Technologies

Toshiro Doi

Sprache

Englisch

Buch Hardcover

Libristo-Code: 04419482

Verlag William Andrew Publishing, Dezember 2011

CMP and polishing are the most precise processes used to finish the surfaces of mechanical and elect... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 04419482

512 b

209.09 € inkl. MwSt.

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CMP and polishing are the most precise processes used to finish the surfaces of mechanical and electronic or semiconductor components. "Advances in CMP/Polishing Technologies for Manufacture of Electronic Devices" presents the latest developments and technological innovations in the field - making cutting-edge R&D accessible to the wider engineering community. Most of the applications of these processes are kept as confidential as possible (proprietary information), and specific details are not seen in professional or technical journals and magazines. This book makes these processes and applications accessible to a wider industrial and academic audience. Building on the fundamentals of tribology - the science of friction, wear and lubrication - the authors explore the practical applications of CMP and polishing across various market sectors. Due to the high pace of development of the electronics and semiconductors industry, many of the presented processes and applications come from these industries. This title demystifies scientific developments and technological innovations, opening them up for new applications and process improvements in the semiconductor industry and other areas of precision engineering. It explores stock removal mechanisms in CMP and polishing, and the challenges involved in predicting the outcomes of abrasive processes in high-precision environments. The authors bring together the latest innovations and research from the USA and Japan.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Advances in CMP Polishing Technologies

Autor Toshiro Doi

Sprache

Englisch

Einband Buch - Hardcover

Datum der Veröffentlichung 2011

Anzahl der Seiten 328

EAN 9781437778595

ISBN 1437778593

Libristo-Code 04419482

Verlag William Andrew Publishing

Gewicht 616

Abmessungen 160 x 239 x 23

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Umweltwissenschaften, Umwelttechnik

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