Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials

Name: Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials
Brand: Springer Netherlands
SKU: 02185022
Price: 271.79 EUR
Availability: InStock
Author: O. Auciello
ISBN: 9789401073691

O. Auciello

Alberto Gras-Martí

Jose Antonio Valles-Abarca

Daniel L. Flamm

Język

Angielski

Książka Miękka

Kod Libristo: 02185022

Wydawnictwo Springer Netherlands, październik 2011

An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the int... Cały opis

Kod Libristo: 02185022

665 b

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An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evolution of technologies such as those relevant to microelectronics, fusion and space. §The subjects dealt with in the book include: the physics and chemistry of plasmas, plasma diagnostics, physical sputtering and chemical etching, plasma assisted deposition of thin films, ion and electron bombardment, and plasma processing of inorganic and polymeric materials. §The book represents a concentration of a substantial amount of knowledge acquired in this area - knowledge which was hitherto widely scattered throughout the literature - and thus establishes a baseline reference work for both established and tyro research workers.